To'g'ridan-to'g'ri{0}}o'qish spektrometrlari asosan quyidagi to'rt modulga bo'linadi:
Qo'zg'alish tizimi: Bu tizim qattiq namunani har bir elementning emissiya spektrlarini chiqaradigan turli usullar yordamida atomizatsiya qiladi.
Optik tizim: Bu tizim qo'zg'alish tizimi tomonidan ishlab chiqarilgan murakkab yorug'lik signallarini qayta ishlaydi, jumladan, saralash, ajratish, filtrlash va ushlash.
O'lchov va nazorat qilish tizimi: Ushbu tizim har bir elementni ifodalovchi xarakterli spektral chiziqlarning intensivligini o'lchaydi va yorug'lik intensivligi signallarini butun asbobning normal ishlashini nazorat qiluvchi kompyuter tomonidan tan olinadigan raqamli elektr signallariga aylantiradi.
Kompyuterda dasturiy ma'lumotlarni qayta ishlash tizimi: Bu tizim barqaror va aniq namunaviy tarkibni olish uchun kompyuter tomonidan har bir kanaldan olingan yorug'lik intensivligi ma'lumotlari bo'yicha turli xil algoritmik hisob-kitoblarni amalga oshiradi.